1、真空泵(bèng)的工作壓強應該(gai)滿足真空設備的(de)極限真空及工作(zuo)壓強要求。如：真空(kong)鍍膜要求1×10-5mmHg的真空(kōng)度，選用的真空泵(bèng)的真空度至少要(yào)5×10-6mmHg。通常選擇泵的真(zhēn)空度要高于真空(kong)設備真空度半個(ge)到一個數量級。

　　2、正(zheng)确地選擇真空泵(beng)的工作點。每種泵(beng)都有一定的工作(zuo)壓強範💛圍，如：擴散(sàn)泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓(yā)強範圍内，泵的抽(chōu)速随壓強而變化(huà)，其穩定的工作壓(yā)強範圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵(bèng)的工🌐作點應該選(xuan)在這個範圍之内(nèi)，而不🐆能讓它在🐕10-8mmHg下(xia)長期工作。又如钛(tài)升華泵可以在10-2mmHg下(xià)工作，但其工作💜壓(yā)強應小于♌1×10-5mmHg為好。

　　3、真(zhen)空泵在其工作壓(ya)強下，應能排走真(zhen)空設備工藝過❗程(chéng)中産生的全部氣(qi)體量。

　　4、正确地組合(hé)真空泵。由于真空(kong)泵有選擇性抽氣(qì)，因🌈而，有時選🈲用❌一(yi)種泵不能滿足抽(chou)氣要求，需要幾種(zhong)泵組合起💃🏻來，互相(xiàng)補充才💘能滿足抽(chōu)氣要求。如钛升🆚華(huá)泵對氫有很💰高的(de)抽✉️速，但不能抽氦(hài)，而三極型濺射離(lí)子泵，（或二極型非(fei)對稱陰極濺射離(li)子泵）對氩有一定(ding)的抽❤️速，兩者組合(hé)起來，便會使真空(kong)裝置得到較好的(de)真空度。另外，有的(de)真👄空泵不能在大(da)💃氣壓下工作，需要(yào)預真空；有的真空(kōng)泵出口壓強低于(yú)大☔氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵(beng)組合起來使用。

　　5、真(zhen)空設備對油污染(ran)的要求。若設備嚴(yán)格要求無油㊙️時，應(yīng)該選🐆各種無油泵(beng)，如：水環泵、分子篩(shai)吸附泵、濺射離子(zǐ)泵、低溫⭐泵等。如果(guǒ)🧑🏽‍🤝‍🧑🏻要求不嚴格，可以(yi)選擇有油泵，加上(shang)一些防油污染措(cuo)施🚶‍♀️，如加冷阱、障闆(pan)、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求(qiú)。

　　6、了解被抽氣體成(chéng)分，氣體中含不含(hán)可凝蒸氣，有無顆(ke)粒灰塵，有無腐蝕(shi)性等。選擇真空泵(beng)時，需要知道氣體(ti)成分，針對⭕被抽氣(qì)體❓選擇相應的泵(bèng)。如果氣體💚中含有(yǒu)蒸氣、顆粒、及腐蝕(shí)性氣體，應該考慮(lǜ)在泵的進氣口管(guan)路上安裝輔助設(she)備，如冷凝器、除塵(chen)器等。

　　7、真空泵排出(chu)來的油蒸氣對環(huan)境的影響如何。如(ru)果環境不允許⁉️有(you)污染，可以選無油(you)真空泵，或者把油(you)♍蒸氣排到室外。

　　8、真(zhen)空泵工作時産生(sheng)的振動對工藝過(guo)程及環境有無影(yǐng)❄️響。若工藝過程不(bu)允許，應選擇無振(zhèn)動的泵或者采🍓取(qu)防💃🏻振動措施。

　　9、真空(kōng)泵的價格、運轉及(jí)維修費用。

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